Portable Dual-Channel In-Line Film Thickness Monitor
| 参数项目 | 技术指标 |
|---|---|
| 检测通道 | 双通道（参考通道 + 测量通道） |
| 工作波段 | 250 ~ 1100 nm（UV-Vis-NIR） |
| 光谱分辨率 | 1.11 nm（FWHM） |
| 光谱仪类型 | 面阵背照式光谱仪，动态范围 >16000:1 高灵敏度、低噪声 |
| 检测方式 | 原位在线式（反射/透射膜厚检测） |
| 内置软件 | 膜厚分析软件 — 实时拟合计算薄膜厚度 |
| 可选附件 | 积分球 — 提高测量稳定性与重复性 |
| 使用方式 | 桌面使用 / 便携仪器箱两种形态 |
| 应用场景 | 真空镀膜炉、产线在线监控、实验室台面检测 |
设备直接放置于实验室或工位桌面，连接光源与采样光纤即可工作。适合固定工位的日常检测、研发实验和工艺调试。
设备安装在定制便携仪器箱内，配备电源和全套光路附件。适合在不同产线、车间或客户现场之间灵活移动检测。
通过光纤将检测光路引入真空镀膜炉腔体或产线节点，实现原位在线实时膜厚监测，无需中断生产流程。
参考通道实时监测光源波动，测量通道采集样品光谱。双通道差分消除光源漂移，确保膜厚测量精度不受光源稳定性影响。
采用面阵背照式光谱仪，量子效率高、读出噪声低，动态范围 >16000:1，在弱信号和强信号条件下均可获得高质量光谱。
250 ~ 1100 nm 覆盖紫外-可见-近红外全波段，适用于各类薄膜材料（金属、介质、半导体、有机膜等）的光学膜厚测量。
内置专业膜厚分析软件，基于光谱拟合算法实时计算薄膜厚度，支持单层膜和多层膜模型，操作简便、结果直观。
可选配积分球附件，将方向性光信号转化为均匀漫射光，消除入射角度和光源不均匀性影响，显著提升测量稳定性和重复性。
紧凑的设备体积既适合桌面固定使用，也可安装在便携式仪器箱中随身携带，灵活适应实验室和现场检测需求。
在线膜厚检测中，光源的功率波动和长期漂移是影响测量精度的关键因素。单通道系统无法区分"光源变化"和"样品膜厚变化"，导致误判。
参考通道 — 持续监测光源的实时输出光谱，记录光源的任何功率波动、光谱漂移和老化衰减。
测量通道 — 采集经过样品后的反射或透射光谱，包含薄膜干涉信息。
通过双通道实时差分计算，系统自动扣除光源波动的影响，仅保留与薄膜厚度相关的光谱变化。这使得设备即使在光源预热不充分、灯泡老化、或环境温度波动的条件下，依然能保持高精度和高重复性的膜厚测量结果。
我们可根据您的镀膜工艺、膜系结构、安装环境等需求，提供定制化的双通道膜厚检测解决方案。