瞬态光电流测试(Transient Photocurrent, TPC)系统
Transient Photocurrent / QE 定量 / 开关高速响应 / 线性动态范围 LDR
本系统为光电探测器量子效率(QE)与开关高速响应特性一体化测试平台。 提供完整的瞬态光电流测试(Transient Photocurrent, TPC)测试服务与系统方案, 同步获得入射光功率与光生电流,直接计算 QE(λ),并评估器件光电响应特性及线性动态范围(LDR)。 采用 254nm LED、光纤耦合与内置标定光功率计,最高 100kHz 方波调制,配合示波器采集响应波形。
- 光功率 Popt 与光电流 Iph 同步测量,直接计算 QE(λ)
- 评估器件光电响应特性及线性动态范围(LDR)
- 254nm 深紫外 LED,聚焦透镜 + 光纤耦合照射
- 最高 100kHz 方波调制,开关高速响应分析
- 输出 QE(λ)、Δt、τr、τf、LDR、调制深度
- 显微观察 · 双探针接触,支持芯片级器件直接测试
实测平台
显微观察 · 双探针接触 · 光路耦合 · 信号同步采集,支持芯片级器件直接测试
系统组成与光路流程
图 1 TPC 系统组成框图(虚线为光路,实线为电信号 / 数据路径)
主要技术参数
| 光源波长 | 254nm 深紫外 LED |
|---|---|
| 调制频率 | 0~100kHz 连续可调,方波驱动 |
| 光耦合方式 | 聚焦透镜 + 光纤传输 |
| 光功率监测 | 内置标定光功率计,与光电流同步采集 |
| 被测对象 | MOS 管等光电导通型 / 光电探测器件 |
| 信号采集 | 高速示波器,同步捕获驱动与响应波形 |
| 输出参数 | QE(λ)、Δt、τr、τf、LDR、调制深度 |