可变角绝对透/反射率检测系统

显微观察 · 双光束积分球 · 多角度可变 · 绝对测量

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显微观察
2000 万像素显微观察,可视化定位样品测试区域,适配 0.3~50 mm 镜片
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多角度可变
发光臂 0°~180° 旋转,样品台 0°~360° 连续旋转,绝对角编码器定位
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双光束高精度
参考光 + 样品光同源出射,积分球收光,测试精度 ≤0.5%
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多模式测试
透射、反射、散射、膜层传输率,支持线偏振分析
可变角绝对透/反射率检测系统 SPL-X90

可变角绝对透/反射率可变角测试系统 SPL-X90

绝对角定位 / 双光束积分球 / 精度 ≤0.5% / 0.3~50 mm 样品

本系统为可变角度的绝对透、反射率检测系统。主体采用显微镜架构观察,双光束分为参考光与样品光,从同一光源出射, 使用积分球收光、APD 雪崩单点探测器检测信号。发光臂可旋转 180°,样品台可 0°~360° 连续旋转, 支持绝对反射率、透射率、散射及膜层传输率多种测试模式。系统已在中国工程物理研究院等单位成功交付,实测精度在 0.5% 以内。

  • 双光束架构(参考光 + 样品光),同源出射,消除光源波动
  • 测试精度 ≤0.5%
  • 发光臂 0°~180° 旋转,样品台 0°~360° 旋转
  • 绝对角编码器,分辨率 0.088°,开机即显示角度
  • 积分球内径 ≥50 mm,APD 雪崩探测器
  • 2000 万像素显微观察 + 可见指示光定位
  • 支持线偏振分析,保留圆偏振扩展接口

主要规格参数

光源波长980 nm 窄带光源,主动制冷,稳定性 ≤0.2%
测试精度≤0.5%(本结果可与中测院测试结果对标)
发光臂旋转0°~180°(反射 / 透射 / 散射模式)
样品台旋转0°~360° 连续旋转
角度定位绝对角编码器,分辨率 212 ≈ 0.088°
手动旋转精度≤1°
电控旋转精度≤0.1°(可选升级)
适配样品尺寸0.3 mm ~ 50 mm(含多规格夹具)
积分球内径 ≥50 mm,400~1000 nm,平均反射率 >94%
探测器APD 雪崩单点探测器,靶面 >1 mm
显微观察2000 万像素相机,工作距离 ≥49 mm,可见指示光
偏振分析线偏振,手动精度 1°(电动可达 0.1°)
连续工作时间>8 小时
整体稳定性≤0.5%

可检测样品类型

样品类型适用情况备注
平面镜 2~6 mm可测试
平面镜 ≥6 mm可测试
球面透镜 2~6 mm可测试中心焦点处参数需根据焦点设计光路配件
棱镜根据外形而定需定制专用夹具
体光栅根据外形而定需定制专用夹具
光学薄膜透射膜 / 反射膜 / 偏振分光膜膜层传输率检测

应用领域

光学薄膜透/反射率检测 偏振分光膜传输率测试 棱镜与透镜光学性能评价 光学元件来料检验 镀膜工艺质量控制 光学科研与教学 角度分辨光学特性测量 激光器光学元件检测

系统设计特点

光学架构

双光束同源架构 — 参考光与样品光从同一光源出射,经半透半反镜分束,消除光源功率波动对测量的影响,确保绝对测量精度。
积分球全面收光 — 内径 ≥50 mm 积分球将透射光、散射光均匀收集至 APD 探测器,避免因样品散射或折射导致的能量遗漏。
物镜固定 + 旋转光路 — 物镜保持不动,发光通道和样品台独立旋转,实现多角度测量时无需重新校准光路。
半透半反等光程设计 — 50% 光导入积分球,参比与测量时光程一致,确保绝对精度,积分球提供均匀光接收保证稳定性。

角度与定位

绝对角编码器 — 旋转轴安装绝对角编码器(212 分辨率 ≈ 0.088°),带仪表显示,开机即可读取当前角度。
180° 发光臂旋转 — 从法线 0° 旋转至 180°,切换反射、透射、散射测试模式,覆盖全角度范围。
360° 样品台旋转 — 样品台连续 360° 旋转,配合发光臂实现任意入射角组合,满足可变角测试需求。
显微观察与指示光 — 2000 万像素相机实时显示样品位置,可见指示光辅助确认测试光斑位置,确认后关闭进入测试。

测试模式

反射率 + 透过率 — 样品置于样品台上,通过显微镜确认位置后,旋转发光臂与样品角度进行测试。
膜层传输率 — 发光臂旋转到固定位置作为参考光,样品放置于积分球入口,旋转样品完成多角度膜层传输率检测。
偏振测试 — 系统支持线偏振光测试,可手动旋转偏振片(精度 1°),预留电动升级接口(0.1°),保留圆偏振扩展功能。
软件自动计算 — 自动读取探测器数值,计算反射率/透过率,记录时间、样品信息、角度,可转换为吸光度(Abs)。

成功案例验证

中国工程物理研究院实测数据

客户样品设计反射率 99.9%,在外部检测机构测试结果为 99.5%。使用本系统实测结果为 99.9% ~ 100.1%,误差在 0.4% 以内,充分验证了系统的高精度与可靠性。

我们在旋转光路、多角度测试光谱类产品的设计与实现中积累了丰富经验,对各类可能出现的问题(光路遮挡、角度死区、散射漏光等)都有成熟的解决方案。 系统基于已成功交付的方案,针对客户具体需求进行改进与定制。

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